Special Issue: 15 Years of SU8 as MEMS Material

نویسندگان
چکیده

برای دانلود باید عضویت طلایی داشته باشید

برای دانلود متن کامل این مقاله و بیش از 32 میلیون مقاله دیگر ابتدا ثبت نام کنید

اگر عضو سایت هستید لطفا وارد حساب کاربری خود شوید

منابع مشابه

Special Issue: 15 Years of SU8 as MEMS Material

In 1997, the first paper using SU-8 as a material for microfabrication was published [1], demonstrating the interest of this negative photoresist for the near-UV structuration of thick layers and the manufacturing of high aspect-ratio components. SU-8 quickly became a cheap alternative to X-ray LIGA, at least for applications that did not require the extreme aspect ratios and precision that can...

متن کامل

Special Issue on "MEMS/NEMS Fabricated Tissue Scaffolding Devices".

Over the past decade, tissue engineering in the field of medicine has proven to provide alternative therapies for tissue or organ implants, especially providing a functional implantation and avoiding immune rejection of tissues and organs. [...].

متن کامل

ذخیره در منابع من


  با ذخیره ی این منبع در منابع من، دسترسی به آن را برای استفاده های بعدی آسان تر کنید

ژورنال

عنوان ژورنال: Micromachines

سال: 2015

ISSN: 2072-666X

DOI: 10.3390/mi6060790